Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

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Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation

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Frédérick Mailly

Fonction : Auteur
PersonId : 6351
IdHAL : frederick-mailly
ORCID : 0000-0002-4030-0505
IdRef : 069998965

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Florence Azaïs

Fonction : Auteur
PersonId : 8583
IdHAL : florence-azais
ORCID : 0000-0001-6458-5018
IdRef : 114259453

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Norbert Dumas

Fonction : Auteur
PersonId : 938762

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Laurent Latorre

Fonction : Auteur
PersonId : 8585
IdHAL : laurent-latorre
ORCID : 0000-0003-0478-1572
IdRef : 160859581

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Pascal Nouet

Fonction : Auteur
PersonId : 6242
IdHAL : pascal-nouet
ORCID : 0000-0003-2137-2623
IdRef : 079135196

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Christine Carvalho De Matos : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00106009

Soumis le : vendredi 13 octobre 2006-10:22:46

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:48

Dates et versions

lirmm-00106009 , version 1 (13-10-2006)

Identifiants

HAL Id : lirmm-00106009 , version 1

Citer

Frédérick Mailly, Florence Azaïs, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation. ETS: European Test Symposium, May 2005, Tallinn, Estonia. pp.76-81. ⟨lirmm-00106009⟩

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