Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation

Frédérick Mailly 1 Florence Azaïs 1 Norbert Dumas 1 Laurent Latorre 1 Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Communication dans un congrès
ETS: European Test Symposium, May 2005, Tallinn, Estonia. 10th IEEE European Test Symposium, pp.76-81, 2005
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00106009
Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : vendredi 13 octobre 2006 - 10:22:46
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

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  • HAL Id : lirmm-00106009, version 1

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Frédérick Mailly, Florence Azaïs, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation. ETS: European Test Symposium, May 2005, Tallinn, Estonia. 10th IEEE European Test Symposium, pp.76-81, 2005. 〈lirmm-00106009〉

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