Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems Année : 2004

Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach

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Autre Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Soumis le : lundi 23 octobre 2006-07:43:07

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Dates et versions

lirmm-00108542 , version 1 (23-10-2006)

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Citer

Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Pascal Nouet. Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach. IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, 2004, 23 (6), pp.962-967. ⟨10.1109/TCAD.2004.828113⟩. ⟨lirmm-00108542⟩

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