Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Article Dans Une Revue IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems Année : 2004

Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach

Résumé

N/A

Domaines

Autre Micro et nanotechnologies/Microélectronique
Fichier principal
Vignette du fichier
D238.PDF (354.81 Ko) Télécharger le fichier

Christine Carvalho De Matos  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00108542

Soumis le : lundi 23 octobre 2006-07:43:07

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:48

Archivage à long terme le : mardi 6 avril 2010-20:27:06

Télécharger pour visualiser

Dates et versions

lirmm-00108542 , version 1 (23-10-2006)

Identifiants

Citer

Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Pascal Nouet. Design of CMOS MEMS Based on Mechanical Resonators Using a RF Simulation Approach. IEEE Transactions on Computer-Aided Design of Integrated Circuits and Systems, 2004, 23 (6), pp.962-967. ⟨10.1109/TCAD.2004.828113⟩. ⟨lirmm-00108542⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS SYSMIC LIRMM LIRMM_MIC MIC MIPS UNIV-MONTPELLIER
335 Consultations
353 Téléchargements

Altmetric

Partager

More