Electro-thermal stimuli for MEMS testing in FSBM technology

Norbert Dumas 1 Florence Azaïs 1 Laurent Latorre 1 Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Article dans une revue
Journal of Electronic Testing, Springer Verlag, 2006, 22 (2), pp.189-198
Liste complète des métadonnées
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00112942
Contributeur : Florence Azais <>
Soumis le : vendredi 10 novembre 2006 - 12:58:18
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:18

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00112942, version 1

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Citation

Norbert Dumas, Florence Azaïs, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Electro-thermal stimuli for MEMS testing in FSBM technology. Journal of Electronic Testing, Springer Verlag, 2006, 22 (2), pp.189-198. 〈lirmm-00112942〉

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