Electro-thermal stimuli for MEMS testing in FSBM technology - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

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Article Dans Une Revue Journal of Electronic Testing: : Theory and Applications Année : 2006

Electro-thermal stimuli for MEMS testing in FSBM technology

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Norbert Dumas

Fonction : Auteur
PersonId : 938762

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Florence Azaïs

Fonction : Auteur
PersonId : 8583
IdHAL : florence-azais
ORCID : 0000-0001-6458-5018
IdRef : 114259453

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Laurent Latorre

Fonction : Auteur
PersonId : 8585
IdHAL : laurent-latorre
ORCID : 0000-0003-0478-1572
IdRef : 160859581

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Pascal Nouet

Fonction : Auteur
PersonId : 6242
IdHAL : pascal-nouet
ORCID : 0000-0003-2137-2623
IdRef : 079135196

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Florence Azais : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00112942

Soumis le : vendredi 10 novembre 2006-12:58:18

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:48

Dates et versions

lirmm-00112942 , version 1 (10-11-2006)

Identifiants

HAL Id : lirmm-00112942 , version 1
DOI : 10.1007/s10836-005-6132-7

Citer

Norbert Dumas, Florence Azaïs, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Electro-thermal stimuli for MEMS testing in FSBM technology. Journal of Electronic Testing: : Theory and Applications, 2006, 22 (2), pp.189-198. ⟨10.1007/s10836-005-6132-7⟩. ⟨lirmm-00112942⟩

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