Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate

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Microwave and Optical Technology Letters, Wiley, 2008, 50 (1), pp.4-7. 〈10.1002/mop.22986〉
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Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : jeudi 10 janvier 2008 - 15:06:45
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:18

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Humberto Campanella, Pascal Nouet, Arantxa Uranga, Pedro De Paco, Nuria Barniol, et al.. Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate. Microwave and Optical Technology Letters, Wiley, 2008, 50 (1), pp.4-7. 〈10.1002/mop.22986〉. 〈lirmm-00203576〉

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