Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate

Humberto Campanella 1 Pascal Nouet 2 Arantxa Uranga 3 Pedro De Paco 4 Nuria Barniol 4 Jaume Esteve 1
1 CNM - Centro Nacional de Microelectronica [Spain]
2 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
3 Electronics Engineering Department
4 Telecommunications Engineering Department
Type de document :
Article dans une revue
Microwave and Optical Technology Letters, Wiley, 2008, 50 (1), pp.4-7. 〈10.1002/mop.22986〉
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Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : jeudi 10 janvier 2008 - 15:06:45
Dernière modification le : jeudi 16 août 2018 - 11:44:02

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Humberto Campanella, Pascal Nouet, Arantxa Uranga, Pedro De Paco, Nuria Barniol, et al.. Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate. Microwave and Optical Technology Letters, Wiley, 2008, 50 (1), pp.4-7. 〈10.1002/mop.22986〉. 〈lirmm-00203576〉

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