Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Article Dans Une Revue Microwave and Optical Technology Letters Année : 2008

Dates et versions

lirmm-00203576 , version 1 (10-01-2008)

Identifiants

Citer

Humberto Campanella, Pascal Nouet, Arantxa Uranga, Pedro de Paco, Nuria Barniol, et al.. Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate. Microwave and Optical Technology Letters, 2008, 50 (1), pp.4-7. ⟨10.1002/mop.22986⟩. ⟨lirmm-00203576⟩
154 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More