Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Article Dans Une Revue Microwave and Optical Technology Letters Année : 2008

Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Martine Peridier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00203576

Soumis le : jeudi 10 janvier 2008-15:06:45

Dernière modification le : mercredi 6 mars 2024-09:16:32

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Dates et versions

lirmm-00203576 , version 1 (10-01-2008)

Identifiants

Citer

Humberto Campanella, Pascal Nouet, Arantxa Uranga, Pedro de Paco, Nuria Barniol, et al.. Automated on-Wafer Extraction of Equivalent-Circuit Parameters in thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonators and Substrate. Microwave and Optical Technology Letters, 2008, 50 (1), pp.4-7. ⟨10.1002/mop.22986⟩. ⟨lirmm-00203576⟩

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