Article Dans Une Revue
Microelectronics Reliability
Année : 2002
Christine Carvalho De Matos : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268582
Soumis le : mardi 1 avril 2008-09:27:53
Dernière modification le : mercredi 18 décembre 2024-10:16:57
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : lirmm-00268582 , version 1
- DOI : 10.1016/S0026-2714(02)00230-5
Citer
Muriel Dardalhon, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, Guy Perez, et al.. Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining. Microelectronics Reliability, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. ⟨10.1016/S0026-2714(02)00230-5⟩. ⟨lirmm-00268582⟩
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