Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Christine Carvalho De Matos  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00269356

Soumis le : mercredi 2 avril 2008-16:46:09

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00269356 , version 1 (02-04-2008)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00269356 , version 1

Citer

Muriel Dardalhon, Marc-Olivier Dzeukou, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, et al.. Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures. CANEUS, Aug 2002, Montreal, Canada. ⟨lirmm-00269356⟩

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