Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures

Type de document :
Communication dans un congrès
CANEUS'02, Montreal (Canada), France. pp.P nd., 2002
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Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : mercredi 2 avril 2008 - 16:46:09
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:19

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  • HAL Id : lirmm-00269356, version 1

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Citation

M. Dardalhon, M.O. Dzeukou, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, et al.. Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures. CANEUS'02, Montreal (Canada), France. pp.P nd., 2002. 〈lirmm-00269356〉

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