A Novel Integrated Solution for the Control and Diagnosis of Electrostatic MEMS Switches - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

A Novel Integrated Solution for the Control and Diagnosis of Electrostatic MEMS Switches

Carlo Trigona
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 938836
Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
Norbert Dumas
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 938762
Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
Laurent Latorre
Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
CV
Pascal Nouet
Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
CV

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Martine Peridier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00632583

Soumis le : vendredi 14 octobre 2011-16:38:24

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:54

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00632583 , version 1 (14-10-2011)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00632583 , version 1

Citer

Carlo Trigona, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet. A Novel Integrated Solution for the Control and Diagnosis of Electrostatic MEMS Switches. DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Aix-en-Provence, France. pp.315-319. ⟨lirmm-00632583⟩

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