Design of CMOS Cantilevers for Intertial Sensing

Aboubacar Chaehoi 1 Laurent Latorre 1 Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Poster
EUSPEN:05: EUropean Society for Precision Engineering and Nanotechnology, May 2005, Montpellier, France. pp.341-344, 2005
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00106001
Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : vendredi 13 octobre 2006 - 10:22:45
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:18

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00106001, version 1

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Citation

Aboubacar Chaehoi, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Design of CMOS Cantilevers for Intertial Sensing. EUSPEN:05: EUropean Society for Precision Engineering and Nanotechnology, May 2005, Montpellier, France. pp.341-344, 2005. 〈lirmm-00106001〉

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