Electrically-Induced Thermal Stimuli for MEMS Testing

Norbert Dumas 1 Florence Azaïs 1 Laurent Latorre 1 Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Communication dans un congrès
ETS: European Test Symposium, May 2004, Ajaccio, Corsica, France. 9th IEEE European Test Symposium, pp.60-65, 2004
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00108904
Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : lundi 23 octobre 2006 - 12:57:12
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00108904, version 1

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Citation

Norbert Dumas, Florence Azaïs, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Electrically-Induced Thermal Stimuli for MEMS Testing. ETS: European Test Symposium, May 2004, Ajaccio, Corsica, France. 9th IEEE European Test Symposium, pp.60-65, 2004. 〈lirmm-00108904〉

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