Electrically-Induced Thermal Stimuli for MEMS Testing - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Electrically-Induced Thermal Stimuli for MEMS Testing

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Christine Carvalho De Matos  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00108904

Soumis le : lundi 23 octobre 2006-12:57:12

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:48

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00108904 , version 1 (23-10-2006)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00108904 , version 1

Citer

Norbert Dumas, Florence Azaïs, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Electrically-Induced Thermal Stimuli for MEMS Testing. ETS: European Test Symposium, May 2004, Ajaccio, Corsica, France. pp.60-65. ⟨lirmm-00108904⟩

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