Design and Characterization of a Bulk-Acoustic-Resonator (FBAR) - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Design and Characterization of a Bulk-Acoustic-Resonator (FBAR)

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Martine Peridier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00203361

Soumis le : mercredi 9 janvier 2008-17:11:01

Dernière modification le : mercredi 6 mars 2024-09:16:32

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00203361 , version 1 (09-01-2008)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00203361 , version 1

Citer

Humberto Campanella, Arantxa Uranga, Pascal Nouet, Nuria Barniol, Luis Teres, et al.. Design and Characterization of a Bulk-Acoustic-Resonator (FBAR). MEMSWAVE'07: 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, Jun 2007, Barcelone, Spain. ⟨lirmm-00203361⟩

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