Design and Characterization of a Bulk-Acoustic-Resonator (FBAR)

Type de document :
Communication dans un congrès
MEMSWAVE'07: 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, Jun 2007, Barcelone, Spain. 2007
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Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : mercredi 9 janvier 2008 - 17:11:01
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

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  • HAL Id : lirmm-00203361, version 1

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Citation

Humberto Campanella, Arantxa Uranga, Pascal Nouet, Nuria Barniol, Luis Teres, et al.. Design and Characterization of a Bulk-Acoustic-Resonator (FBAR). MEMSWAVE'07: 8th International Symposium on RF MEMS and RF Microsystems, Jun 2007, Barcelone, Spain. 2007. 〈lirmm-00203361〉

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