Electrostatic Actuation of Microscale Liquid-Metal Droplets

Laurent Latorre 1 C.J. Kim J.V. Leeuwen P.P. Guzman Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Article dans une revue
Journal of Microelectromechanical Systems, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2002, 11 (4), pp.302-308
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Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : mardi 1 avril 2008 - 09:27:44
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:19

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  • HAL Id : lirmm-00268544, version 1

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Laurent Latorre, C.J. Kim, J.V. Leeuwen, P.P. Guzman, Pascal Nouet. Electrostatic Actuation of Microscale Liquid-Metal Droplets. Journal of Microelectromechanical Systems, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2002, 11 (4), pp.302-308. 〈lirmm-00268544〉

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