Design and Simulation of a CMOS MEMS Using Standard Microelectronic CAD Environment - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

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Communication Dans Un Congrès Année : 2003

Design and Simulation of a CMOS MEMS Using Standard Microelectronic CAD Environment

(1) , (2) , (1)

1
2

Laurent Latorre

Fonction : Auteur
PersonId : 8585
IdHAL : laurent-latorre
ORCID : 0000-0003-0478-1572
IdRef : 160859581

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Vincent Beroulle

Fonction : Auteur
PersonId : 2213
IdHAL : vincent-beroulle
ORCID : 0000-0003-0617-3087
IdRef : 07094122X

Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

Pascal Nouet

Fonction : Auteur
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IdHAL : pascal-nouet
ORCID : 0000-0003-2137-2623
IdRef : 079135196

Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Christine Carvalho De Matos : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00269546

Soumis le : jeudi 3 avril 2008-08:21:46

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Dates et versions

lirmm-00269546 , version 1 (03-04-2008)

Identifiants

HAL Id : lirmm-00269546 , version 1

Citer

Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Pascal Nouet. Design and Simulation of a CMOS MEMS Using Standard Microelectronic CAD Environment. NANOTECH 2003 - Nanotechnology Conference and Trade Show, Feb 2003, San Francisco, CA, United States. pp.472-475. ⟨lirmm-00269546⟩

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