Design & Simulation of a CMOS MEMS Using Standard Microelectronic CAD Environment

Type de document :
Communication dans un congrès
NANOTECH'03: Nanotechnology Conference and Trade Show, San Francisco, CA (USA), pp. 472-475, 2003
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Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : jeudi 3 avril 2008 - 08:21:46
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

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  • HAL Id : lirmm-00269546, version 1

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Laurent Latorre, Vincent Beroulle, Pascal Nouet. Design & Simulation of a CMOS MEMS Using Standard Microelectronic CAD Environment. NANOTECH'03: Nanotechnology Conference and Trade Show, San Francisco, CA (USA), pp. 472-475, 2003. 〈lirmm-00269546〉

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