Conception de MEMS : de l'idée à l'integration SoC/SiP
Résumé
Ce papier résume le travail développé au sein du département Microélectronique du LIRMM concernant la conception de systèmes intégrés à base de structures MEMS. La discussion couvre les outils méthodologiques proposés pour aborder la conception des MEMS et les architectures microélectroniques de traitement associées. Les contributions scientifiques majeures sont présentées. Elles concernent la modélisation, la simulation et la réalisation de MEMS, s'appuyant sur la présentation de démonstrateurs réalisés à l'aide de technologies standards, en vue d'une intégration sous la forme de SoC ou de SiP.