Conception de MEMS : de l'idée à l'integration SoC/SiP

Résumé : Ce papier résume le travail développé au sein du département Microélectronique du LIRMM concernant la conception de systèmes intégrés à base de structures MEMS. La discussion couvre les outils méthodologiques proposés pour aborder la conception des MEMS et les architectures microélectroniques de traitement associées. Les contributions scientifiques majeures sont présentées. Elles concernent la modélisation, la simulation et la réalisation de MEMS, s'appuyant sur la présentation de démonstrateurs réalisés à l'aide de technologies standards, en vue d'une intégration sous la forme de SoC ou de SiP.
Document type :
Conference papers
Liste complète des métadonnées

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00361232
Contributor : Boris Alandry <>
Submitted on : Friday, February 13, 2009 - 2:39:56 PM
Last modification on : Thursday, May 24, 2018 - 3:59:24 PM

Identifiers

  • HAL Id : lirmm-00361232, version 1

Collections

Citation

Olivier Leman, Boris Alandry, El Mehdi Boujamaa, Norbert Dumas, Frédérick Mailly, et al.. Conception de MEMS : de l'idée à l'integration SoC/SiP. GDR SoC-SiP: System-On-Chip & Sytem-In-Package, Jun 2008, Paris, France. 1, 2008. 〈lirmm-00361232〉

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