Conception de MEMS : de l'idée à l'integration SoC/SiP

Résumé : Ce papier résume le travail développé au sein du département Microélectronique du LIRMM concernant la conception de systèmes intégrés à base de structures MEMS. La discussion couvre les outils méthodologiques proposés pour aborder la conception des MEMS et les architectures microélectroniques de traitement associées. Les contributions scientifiques majeures sont présentées. Elles concernent la modélisation, la simulation et la réalisation de MEMS, s'appuyant sur la présentation de démonstrateurs réalisés à l'aide de technologies standards, en vue d'une intégration sous la forme de SoC ou de SiP.
Type de document :
Communication dans un congrès
GDR SoC-SiP: System-On-Chip & Sytem-In-Package, Jun 2008, Paris, France. 1, 2008
Liste complète des métadonnées

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00361232
Contributeur : Boris Alandry <>
Soumis le : vendredi 13 février 2009 - 14:39:56
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00361232, version 1

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Citation

Olivier Leman, Boris Alandry, El Mehdi Boujamaa, Norbert Dumas, Frédérick Mailly, et al.. Conception de MEMS : de l'idée à l'integration SoC/SiP. GDR SoC-SiP: System-On-Chip & Sytem-In-Package, Jun 2008, Paris, France. 1, 2008. 〈lirmm-00361232〉

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