Design of a Smart CMOS High-Voltage Driver for Electrostatic MEMS Switches

Norbert Dumas 1 Laurent Latorre 1 Frédérick Mailly 1 Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Seville, Spain. pp.44-47, 2010
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00489031
Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : jeudi 3 juin 2010 - 16:21:46
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00489031, version 1

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Citation

Norbert Dumas, Laurent Latorre, Frédérick Mailly, Pascal Nouet. Design of a Smart CMOS High-Voltage Driver for Electrostatic MEMS Switches. DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Seville, Spain. pp.44-47, 2010. 〈lirmm-00489031〉

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