Nonlinear Behaviour of a Micromachined SOI Device for Energy Harvesting Application

Bruno Ando 1 Salvatore Baglio 1 Norbert Dumas 2 Laurent Latorre 2 Pascal Nouet 2 Carlo Trigona 1
1 DIEES - Univ. Degli Studi di Catania
2 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, May 2010, Seville, Spain. pp.263-265, 2010
Liste complète des métadonnées
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00489036
Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : jeudi 3 juin 2010 - 16:30:51
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00489036, version 1

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Citation

Bruno Ando, Salvatore Baglio, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet, et al.. Nonlinear Behaviour of a Micromachined SOI Device for Energy Harvesting Application. DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, May 2010, Seville, Spain. pp.263-265, 2010. 〈lirmm-00489036〉

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