Nonlinear Behaviour of a Micromachined SOI Device for Energy Harvesting Application

Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, May 2010, Seville, Spain. pp.263-265, 2010
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Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : jeudi 3 juin 2010 - 16:30:51
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:19

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Bruno Ando, Salvatore Baglio, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet, et al.. Nonlinear Behaviour of a Micromachined SOI Device for Energy Harvesting Application. DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, May 2010, Seville, Spain. pp.263-265, 2010. 〈lirmm-00489036〉

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