A Study of Package Effects on the Behavior of MEMS Convective Accelerometers - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

A Study of Package Effects on the Behavior of MEMS Convective Accelerometers

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Martine Peridier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00489026

Soumis le : jeudi 3 juin 2010-16:17:21

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:53

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00489026 , version 1 (03-06-2010)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00489026 , version 1

Citer

Ahmed Rekik, Florence Azaïs, Norbert Dumas, Mohamed Masmoudi, Frédérick Mailly, et al.. A Study of Package Effects on the Behavior of MEMS Convective Accelerometers. DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Seville, Spain. pp.6-9. ⟨lirmm-00489026⟩

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