A Study of Package Effects on the Behavior of MEMS Convective Accelerometers

Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Seville, Spain. pp.6-9, 2010
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Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : jeudi 3 juin 2010 - 16:17:21
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

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Ahmed Rekik, Florence Azaïs, Norbert Dumas, Mohamed Masmoudi, Frédérick Mailly, et al.. A Study of Package Effects on the Behavior of MEMS Convective Accelerometers. DTIP'10: Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Seville, Spain. pp.6-9, 2010. 〈lirmm-00489026〉

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