Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Christine Carvalho De Matos  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00106009

Soumis le : vendredi 13 octobre 2006-10:22:46

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:48

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00106009 , version 1 (13-10-2006)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00106009 , version 1

Citer

Frédérick Mailly, Florence Azaïs, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Towards On-Line Testing of MEMS Using Electro-Thermal Excitation. ETS: European Test Symposium, May 2005, Tallinn, Estonia. pp.76-81. ⟨lirmm-00106009⟩

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