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Introduction aux Microsystèmes (MEMS)

Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Document type :
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Complete list of metadatas

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00109128
Contributor : Christine Carvalho de Matos <>
Submitted on : Tuesday, October 24, 2006 - 7:29:01 AM
Last modification on : Thursday, May 24, 2018 - 3:59:24 PM

Identifiers

  • HAL Id : lirmm-00109128, version 1

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Citation

Pascal Nouet. Introduction aux Microsystèmes (MEMS). 2004. ⟨lirmm-00109128⟩

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