Introduction aux Microsystèmes (MEMS)

Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Autre publication
11800. 2004
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00109128
Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : mardi 24 octobre 2006 - 07:29:01
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

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  • HAL Id : lirmm-00109128, version 1

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Pascal Nouet. Introduction aux Microsystèmes (MEMS). 11800. 2004. 〈lirmm-00109128〉

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