Impact of Low-K Intra-Layer Dielectrics on Integration

Denis Deschacht; Fabrice Huret

Conference papers

Impact of Low-K Intra-Layer Dielectrics on Integration

Denis Deschacht ¹ Fabrice Huret ^{2, 3}

1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

2 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192)

3 LEST - Laboratoire d'Electronique et Systèmes de Télécommunications

Document type :

Conference papers

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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268501
Contributor : Christine Carvalho de Matos Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, April 1, 2008 - 9:27:33 AM
Last modification on : Friday, October 22, 2021 - 3:07:37 PM

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