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Conference papers
Impact of Low-K Intra-Layer Dielectrics on Integration
Denis Deschacht
1
Fabrice Huret
2, 3
1
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Denis Deschacht 1
Mail : Site :
Author
Fabrice Huret 2, 3
Mail :
Author
1
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques (France)
- LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (161 rue Ada - 34095 Montpellier - France)
- UM - Université de Montpellier : UMR5506 (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5506 (France)
2
Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192) (Technopole Brest Iroise BP 832 29285 BREST CEDEX - France)
- UEB - Université européenne de Bretagne - European University of Brittany (5 boulevard Laënnec - 35000 Rennes - France)
- UBS - Université de Bretagne Sud (BP 92116 - 56321 Lorient cedex - France)
- UBO - Université de Brest (Université de Bretagne Occidentale - 3 Rue des Archives 29238, Brest - France)
- IBNM - Institut Brestois du Numérique et des Mathématiques (Université de Brest - UBO
3 Rue des Archives, 29238 Brest - France)
- UBO - Université de Brest (Université de Bretagne Occidentale - 3 Rue des Archives 29238, Brest - France)
- Télécom Bretagne (Technopôle Brest-Iroise CS 83818 29238 BREST Cedex 3 - France)
- IMT - Institut Mines-Télécom [Paris] (37-39 Rue Dareau, 75014 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR3192 (France)
3
LEST - Laboratoire d'Electronique et Systèmes de Télécommunications (LEST/UBO - 6 Av le Gorgeu CS 93837 - 29238 Brest Cedex 3 LEST/ENST – CS 83818 – 29288 Brest Cedex 3 - France)
- UBO - Université de Brest (Université de Bretagne Occidentale - 3 Rue des Archives 29238, Brest - France)
- Ecole Nationale Supérieure des Télécommunications de Bretagne (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6165 (France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268501
Contributor : Christine Carvalho de Matos <>
Submitted on : Tuesday, April 1, 2008 - 9:27:33 AM
Last modification on : Wednesday, June 24, 2020 - 4:18:36 PM
Contributor : Christine Carvalho de Matos <>
Submitted on : Tuesday, April 1, 2008 - 9:27:33 AM
Last modification on : Wednesday, June 24, 2020 - 4:18:36 PM
Identifiers
- HAL Id : lirmm-00268501, version 1
Collections
CNRS | LAB-STICC_UBO | UNIV-BREST | SYSMIC | LAB-STICC | LIRMM | LIRMM_MIC | MIC | MIPS | UNIV-MONTPELLIER | INSTITUT-TELECOM
Citation
Denis Deschacht, Fabrice Huret. Impact of Low-K Intra-Layer Dielectrics on Integration. 9th IEEE Workshop on Signal Propagation on Interconnects, Pisa, Italy. pp.181-184. ⟨lirmm-00268501⟩
Metrics
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