Impact of Low-K Intra-Layer Dielectrics on Integration

Denis Deschacht; Fabrice Huret

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Impact of Low-K Intra-Layer Dielectrics on Integration

Denis Deschacht ¹ Fabrice Huret ^{2, 3}

1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

2 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192)

3 LEST - Laboratoire d'Electronique et Systèmes de Télécommunications

Denis Deschacht ¹ AuthorId : 831111

Author

Fabrice Huret ^{2, 3} AuthorId : 123439

Author

1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques (France) StructId : 408080

LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (161 rue Ada - 34095 Montpellier - France) StructId : 181
- UM - Université de Montpellier : UMR5506 (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France) StructId : 410122
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5506 (France) StructId : 441569

2 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192) (Technopole Brest Iroise BP 832 29285 BREST CEDEX - France) StructId : 81533

UEB - Université européenne de Bretagne - European University of Brittany (5 boulevard Laënnec - 35000 Rennes - France) StructId : 108091
UBS - Université de Bretagne Sud (BP 92116 - 56321 Lorient cedex - France) StructId : 172265
UBO - Université de Brest (Université de Bretagne Occidentale - 3 Rue des Archives 29238, Brest - France) StructId : 300314
IBNM - Institut Brestois du Numérique et des Mathématiques (Université de Brest - UBO 3 Rue des Archives, 29238 Brest - France) StructId : 301521
- UBO - Université de Brest (Université de Bretagne Occidentale - 3 Rue des Archives 29238, Brest - France) StructId : 300314
Télécom Bretagne (Technopôle Brest-Iroise CS 83818 29238 BREST Cedex 3 - France) StructId : 301262
IMT - Institut Mines-Télécom [Paris] (37-39 Rue Dareau, 75014 Paris - France) StructId : 302102
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR3192 (France) StructId : 441569

3 LEST - Laboratoire d'Electronique et Systèmes de Télécommunications (LEST/UBO - 6 Av le Gorgeu CS 93837 - 29238 Brest Cedex 3 LEST/ENST – CS 83818 – 29288 Brest Cedex 3 - France) StructId : 861

UBO - Université de Brest (Université de Bretagne Occidentale - 3 Rue des Archives 29238, Brest - France) StructId : 300314
Ecole Nationale Supérieure des Télécommunications de Bretagne (France) StructId : 303653
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6165 (France) StructId : 441569

Document type :

Conference papers

Complete list of metadata

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268501
Contributor : Christine Carvalho de Matos <>
Submitted on : Tuesday, April 1, 2008 - 9:27:33 AM
Last modification on : Wednesday, June 24, 2020 - 4:18:36 PM

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HAL Id : lirmm-00268501, version 1

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Denis Deschacht, Fabrice Huret. Impact of Low-K Intra-Layer Dielectrics on Integration. 9th IEEE Workshop on Signal Propagation on Interconnects, Pisa, Italy. pp.181-184. ⟨lirmm-00268501⟩

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