Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining

Muriel Dardalhon 1 Vincent Beroulle 2 Laurent Latorre 3 Pascal Nouet 3 Guy Perez 4 Jean Mare Nicot 4 Coumar Oudéa 5
1 LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes
3 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
4 CNES - Centre National d’Études Spatiales [Paris]
5 Airbus Defence and Space [Toulouse]
Document type :
Journal articles
Complete list of metadatas
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268582
Contributor : Christine Carvalho de Matos <>
Submitted on : Tuesday, April 1, 2008 - 9:27:53 AM
Last modification on : Wednesday, January 1, 2020 - 6:46:01 PM

Identifiers

Collections

CNRS | SYSMIC | LIRMM | LCIS | UGA | LIRMM_MIC | MIC | MIPS | UNIV-MONTPELLIER

Citation

Muriel Dardalhon, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, Guy Perez, et al.. Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining. Microelectronics Reliability, Elsevier, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. ⟨10.1016/S0026-2714(02)00230-5⟩. ⟨lirmm-00268582⟩

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