Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining

M. Dardalhon 1 Vincent Beroulle 2 Laurent Latorre 3 Pascal Nouet 3 G. Perez J.M. Nicot Coumar Oudea 4
1 LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes
3 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
4 Airbus Defence and Space [Toulouse]
Type de document :
Article dans une revue
Microelectronics Reliability, Elsevier, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. 〈10.1016/S0026-2714(02)00230-5〉
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268582
Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : mardi 1 avril 2008 - 09:27:53
Dernière modification le : jeudi 31 mai 2018 - 10:22:01

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SYSMIC | LIRMM | LCIS | UGA | LIRMM_MIC | MIC | MIPS | UNIV-MONTPELLIER

Citation

M. Dardalhon, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, G. Perez, et al.. Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining. Microelectronics Reliability, Elsevier, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. 〈10.1016/S0026-2714(02)00230-5〉. 〈lirmm-00268582〉

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