Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining
Muriel Dardalhon
(1)
,
Vincent Beroulle
(2)
,
Laurent Latorre
(3)
,
Pascal Nouet
(3)
,
Guy Perez
(4)
,
Jean Mare Nicot
(4)
,
Coumar Oudéa
(5)
1
LIRMM -
Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes
3 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
4 CNES - Centre National d’Études Spatiales [Paris]
5 Airbus Defence and Space [Toulouse]
2 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes
3 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
4 CNES - Centre National d’Études Spatiales [Paris]
5 Airbus Defence and Space [Toulouse]
Vincent Beroulle
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Laurent Latorre
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Pascal Nouet
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