Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining

M. Dardalhon 1 Vincent Beroulle 2 Laurent Latorre 3 Pascal Nouet 3 G. Perez J.M. Nicot Coumar Oudea 4
1 LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes
3 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
4 Airbus Defence and Space [Toulouse]
Type de document :
Article dans une revue
Microelectronics Reliability, Elsevier, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. 〈10.1016/S0026-2714(02)00230-5〉
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268582
Contributeur : Christine Carvalho de Matos <>
Soumis le : mardi 1 avril 2008 - 09:27:53
Dernière modification le : lundi 9 avril 2018 - 12:22:17

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SYSMIC | LIRMM | LCIS | UGA | LIRMM_MIC | MIC | MIPS | UNIV-MONTPELLIER

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M. Dardalhon, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, G. Perez, et al.. Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining. Microelectronics Reliability, Elsevier, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. 〈10.1016/S0026-2714(02)00230-5〉. 〈lirmm-00268582〉

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