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Journal articles
Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining
Muriel Dardalhon
1
Vincent Beroulle
2
Laurent Latorre
3
Pascal Nouet
3
Guy Perez
4
Jean Mare Nicot
4
Coumar Oudéa
5
3
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Muriel Dardalhon 1
Author
Vincent Beroulle 2
Author IdHAL : vincent-beroulle
Laurent Latorre 3
Author IdHAL : laurent-latorre ORCID : https://orcid.org/0000-0003-0478-1572
Pascal Nouet 3
Author IdHAL : pascal-nouet ORCID : https://orcid.org/0000-0003-2137-2623
Guy Perez 4
Author Employer institution : Centre National d’Études Spatiales [Paris]
Jean Mare Nicot 4
Author
Coumar Oudéa 5
Author
1
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (161 rue Ada - 34095 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5506 (France)
- UM - Université de Montpellier : UMR5506 (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
2
LCIS - Laboratoire de Conception et d'Intégration des Systèmes (50, rue Barthélémy de Laffemas – BP54 26902 Valence Cedex 9 - France)
- Institut Polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (France)
- UPMF - Université Pierre Mendès France - Grenoble 2 (BP 47 - 38040 Grenoble Cedex 9 - France)
3
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques (France)
- LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (161 rue Ada - 34095 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5506 (France)
- UM - Université de Montpellier : UMR5506 (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
4
CNES - Centre National d’Études Spatiales [Paris] (Siège social : 2 place Maurice Quentin, 75039 Paris - France)
5
Airbus Defence and Space [Toulouse] (Airbus Defence and Space SAS
31 rue des Cosmonautes
Z.I. du Palays
31402 Toulouse Cedex 4 - France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00268582
Contributor : Christine Carvalho de Matos Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, April 1, 2008 - 9:27:53 AM
Last modification on : Friday, October 22, 2021 - 3:07:37 PM
Contributor : Christine Carvalho de Matos Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Tuesday, April 1, 2008 - 9:27:53 AM
Last modification on : Friday, October 22, 2021 - 3:07:37 PM
Identifiers
- HAL Id : lirmm-00268582, version 1
- DOI : 10.1016/S0026-2714(02)00230-5
Citation
Muriel Dardalhon, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, Guy Perez, et al.. Reliability analysis of CMOS MEMS structures obtained by Front Side Bulk Micromachining. Microelectronics Reliability, Elsevier, 2002, 42 (9-11), pp.1777-1782. ⟨10.1016/S0026-2714(02)00230-5⟩. ⟨lirmm-00268582⟩
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