Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

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Communication Dans Un Congrès Année : 2002

Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures

(1) , , (1) , (2) , (2) , (3) , (4)

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Muriel Dardalhon

Fonction : Auteur

LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

Marc-Olivier Dzeukou

Fonction : Auteur

Vincent Beroulle

Fonction : Auteur
PersonId : 2213
IdHAL : vincent-beroulle
ORCID : 0000-0003-0617-3087
IdRef : 07094122X

LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier

Laurent Latorre

Fonction : Auteur
PersonId : 8585
IdHAL : laurent-latorre
ORCID : 0000-0003-0478-1572
IdRef : 160859581

SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Pascal Nouet

Fonction : Auteur
PersonId : 6242
IdHAL : pascal-nouet
ORCID : 0000-0003-2137-2623
IdRef : 079135196

SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques

Guy Perez

Fonction : Auteur

CNES - Centre National d’Études Spatiales [Paris]

Coumar Oudéa

Fonction : Auteur

Airbus Defence and Space [Les Mureaux]

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00269356

Soumis le : mercredi 2 avril 2008-16:46:09

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:50

Dates et versions

lirmm-00269356 , version 1 (02-04-2008)

Identifiants

HAL Id : lirmm-00269356 , version 1

Citer

Muriel Dardalhon, Marc-Olivier Dzeukou, Vincent Beroulle, Laurent Latorre, Pascal Nouet, et al.. Impact of Environmental Parameters on CMOS MEMS Structures. CANEUS, Aug 2002, Montreal, Canada. ⟨lirmm-00269356⟩

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