Analytical and Finite-Element Modeling of Localized-Mass Sensitivity of Thin-Film Bulk Acoustic-Wave Resonators (FBAR)

Humberto Campanella 1, 2 Emile Martincic 3 Pascal Nouet 4 Arantxa Uranga 5 Jaume Esteve 2
1 LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 CNM-CSIC
3 IEF - Institut d'électronique fondamentale
4 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
5 UAB - Unité de Microélectronique, Départament d'Informatique
Type de document :
Article dans une revue
IEEE Sensors Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, 9 (8), pp.892-901
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Contributeur : Lionel Torres <>
Soumis le : jeudi 23 juillet 2009 - 16:25:23
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:18

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00406927, version 1

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Citation

Humberto Campanella, Emile Martincic, Pascal Nouet, Arantxa Uranga, Jaume Esteve. Analytical and Finite-Element Modeling of Localized-Mass Sensitivity of Thin-Film Bulk Acoustic-Wave Resonators (FBAR). IEEE Sensors Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, 9 (8), pp.892-901. 〈lirmm-00406927〉

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