Analytical and Finite-Element Modeling of Localized-Mass Sensitivity of Thin-Film Bulk Acoustic-Wave Resonators (FBAR)

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IEEE Sensors Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, 9 (8), pp.892-901
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Contributeur : Lionel Torres <>
Soumis le : jeudi 23 juillet 2009 - 16:25:23
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Humberto Campanella, Emile Martincic, Pascal Nouet, Arantxa Uranga, Jaume Esteve. Analytical and Finite-Element Modeling of Localized-Mass Sensitivity of Thin-Film Bulk Acoustic-Wave Resonators (FBAR). IEEE Sensors Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, 9 (8), pp.892-901. 〈lirmm-00406927〉

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