Analytical and Finite-Element Modeling of Localized-Mass Sensitivity of Thin-Film Bulk Acoustic-Wave Resonators (FBAR)

Humberto Campanella 1, 2 Emile Martincic 3 Pascal Nouet 4 Arantxa Uranga 5 Jaume Esteve 2
1 LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 CNM - Centro Nacional de Microelectronica [Spain]
3 IEF - Institut d'électronique fondamentale
4 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
5 UAB - Unité de Microélectronique, Départament d'Informatique
Type de document :
Article dans une revue
IEEE Sensors Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, 9 (8), pp.892-901
Liste complète des métadonnées
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00406927
Contributeur : Lionel Torres <>
Soumis le : jeudi 23 juillet 2009 - 16:25:23
Dernière modification le : jeudi 16 août 2018 - 11:44:02

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00406927, version 1

Collections

SYSMIC | LIRMM | LIRMM_MIC | MIC | MIPS | UNIV-MONTPELLIER

Citation

Humberto Campanella, Emile Martincic, Pascal Nouet, Arantxa Uranga, Jaume Esteve. Analytical and Finite-Element Modeling of Localized-Mass Sensitivity of Thin-Film Bulk Acoustic-Wave Resonators (FBAR). IEEE Sensors Journal, Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2009, 9 (8), pp.892-901. 〈lirmm-00406927〉

Exporter

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Partager

Métriques

Consultations de la notice

98

Contact

support.ccsd.cnrs.fr
hal.support@ccsd.cnrs.fr
Logo CCSD