Méthodes alternatives pour le test de MEMS - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Conference Papers Year : 2007

Méthodes alternatives pour le test de MEMS

Domains

Micro and nanotechnologies/Microelectronics

Lionel Torres  : Connect in order to contact the contributor

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00406946

Submitted on : Thursday, July 23, 2009-4:48:27 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:52:52 PM

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Dates and versions

lirmm-00406946 , version 1 (23-07-2009)

Identifiers

  • HAL Id : lirmm-00406946 , version 1

Cite

Norbert Dumas, Frédérick Mailly, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Méthodes alternatives pour le test de MEMS. Journées Nationales du GDR Micro et Nano Systèmes, France. ⟨lirmm-00406946⟩

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