Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging

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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00436120

Soumis le : jeudi 26 novembre 2009-10:39:50

Dernière modification le : mercredi 13 août 2025-03:07:43

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00436120 , version 1 (26-11-2009)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00436120 , version 1

Citer

Elie Lefeuvre, Emile Martincic, Edmond Woytasik, Xavier Leroux, S. Edmond, et al.. Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging. Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference, France. pp.782-785. ⟨lirmm-00436120⟩

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