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Conference papers
A Novel Integrated Solution for the Control and Diagnosis of Electrostatic MEMS Switches
Carlo Trigona
1
Norbert Dumas
1
Laurent Latorre
1
Pascal Nouet
1
1
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Carlo Trigona 1
Mail : Site :
Author
Norbert Dumas 1
Mail :
Author
Laurent Latorre 1
Mail : Site :
Author IdHAL : laurent-latorre
Pascal Nouet 1
Mail : Site :
Author IdHAL : pascal-nouet
1
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques (France)
- LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (161 rue Ada - 34095 Montpellier - France)
- UM - Université de Montpellier : UMR5506 (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5506 (France)
Complete list of metadatas
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00632583
Contributor : Martine Peridier <>
Submitted on : Friday, October 14, 2011 - 4:38:24 PM
Last modification on : Thursday, May 24, 2018 - 3:59:24 PM
Contributor : Martine Peridier <>
Submitted on : Friday, October 14, 2011 - 4:38:24 PM
Last modification on : Thursday, May 24, 2018 - 3:59:24 PM
Identifiers
- HAL Id : lirmm-00632583, version 1
Citation
Carlo Trigona, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet. A Novel Integrated Solution for the Control and Diagnosis of Electrostatic MEMS Switches. DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Aix-en-Provence, France. pp.315-319. ⟨lirmm-00632583⟩
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