A Novel Integrated Solution for the Control and Diagnosis of Electrostatic MEMS Switches

Carlo Trigona 1 Norbert Dumas 1 Laurent Latorre 1 Pascal Nouet 1
1 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Aix-en-Provence, France. pp.315-319, 2011
Liste complète des métadonnées

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00632583
Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : vendredi 14 octobre 2011 - 16:38:24
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00632583, version 1

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Citation

Carlo Trigona, Norbert Dumas, Laurent Latorre, Pascal Nouet. A Novel Integrated Solution for the Control and Diagnosis of Electrostatic MEMS Switches. DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Aix-en-Provence, France. pp.315-319, 2011. 〈lirmm-00632583〉

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