Investigation on the Effect of Geometrical Dimensions on the Conductive Behaviour of a MEMS Convective Accelerometer - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Investigation on the Effect of Geometrical Dimensions on the Conductive Behaviour of a MEMS Convective Accelerometer

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Martine Peridier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00632610

Soumis le : vendredi 14 octobre 2011-17:14:30

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:54

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00632610 , version 1 (14-10-2011)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00632610 , version 1

Citer

Ahmed Rekik, Brahim Mezghani, Florence Azaïs, Norbert Dumas, Mohamed Masmoudi, et al.. Investigation on the Effect of Geometrical Dimensions on the Conductive Behaviour of a MEMS Convective Accelerometer. DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Aix-en-Provence, France. pp.14-17. ⟨lirmm-00632610⟩

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