Investigation on the Effect of Geometrical Dimensions on the Conductive Behaviour of a MEMS Convective Accelerometer

Type de document :
Communication dans un congrès
DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Aix-en-Provence, France. pp.14-17, 2011
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Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : vendredi 14 octobre 2011 - 17:14:30
Dernière modification le : jeudi 24 mai 2018 - 15:59:24

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  • HAL Id : lirmm-00632610, version 1

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Citation

Ahmed Rekik, Brahim Mezghani, Florence Azaïs, Norbert Dumas, Mohamed Masmoudi, et al.. Investigation on the Effect of Geometrical Dimensions on the Conductive Behaviour of a MEMS Convective Accelerometer. DTIP'11: Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, Aix-en-Provence, France. pp.14-17, 2011. 〈lirmm-00632610〉

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