Poster De Conférence Année : 2012

Exact wafer matching process wafer to wafer inegration

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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00805059

Soumis le : mardi 26 mars 2013-21:51:48

Dernière modification le : mercredi 13 août 2025-03:12:41

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00805059 , version 1 (26-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00805059 , version 1

Citer

Rodolphe Giroudeau, Giorgio Di Natale, Marie-Lise Flottes, Florent Hernandez. Exact wafer matching process wafer to wafer inegration. 3D Integration Applications, 2012, Grenoble, France. Workshop on 3D Integration Applications, Technology, Architecture, Design, Automation, and Test, 2012. ⟨lirmm-00805059⟩

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