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HAL-LIRMM - Open Archive |  |
Conference papers
Testing Reasonant Micro-Electro-Mechanical Sensors Using the Oscillation-Based Test Methodology
Vincent Beroulle
1
Yves Bertrand
2
Laurent Latorre
2
Pascal Nouet
2
2
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Vincent Beroulle 1
Mail :
Author IdHAL : vincent-beroulle
Yves Bertrand 2
Mail : Site :
Author
Laurent Latorre 2
Mail : Site :
Author IdHAL : laurent-latorre
Pascal Nouet 2
Mail : Site :
Author IdHAL : pascal-nouet
1
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (161 rue Ada - 34095 Montpellier - France)
- UM - Université de Montpellier : UMR5506 (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5506 (France)
2
SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques (France)
- LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier (161 rue Ada - 34095 Montpellier - France)
- UM - Université de Montpellier : UMR5506 (163 rue Auguste Broussonnet - 34090 Montpellier - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5506 (France)
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00269323
Contributor : Christine Carvalho de Matos <>
Submitted on : Wednesday, April 2, 2008 - 4:46:00 PM
Last modification on : Wednesday, January 1, 2020 - 6:46:01 PM
Contributor : Christine Carvalho de Matos <>
Submitted on : Wednesday, April 2, 2008 - 4:46:00 PM
Last modification on : Wednesday, January 1, 2020 - 6:46:01 PM
Identifiers
- HAL Id : lirmm-00269323, version 1
Citation
Vincent Beroulle, Yves Bertrand, Laurent Latorre, Pascal Nouet. Testing Reasonant Micro-Electro-Mechanical Sensors Using the Oscillation-Based Test Methodology. LATW'02: 3rd IEEE Latin American Test Workshop, Montevideo (Uruguay), France. pp. 99-104. ⟨lirmm-00269323⟩
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