Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Martine Peridier  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00436120

Soumis le : jeudi 26 novembre 2009-10:39:50

Dernière modification le : mercredi 13 mars 2024-16:52:27

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00436120 , version 1 (26-11-2009)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00436120 , version 1

Citer

Elie Lefeuvre, Emile Martincic, Edmond Woytasik, Xavier Leroux, S. Edmond, et al.. Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging. Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference, France. pp.782-785. ⟨lirmm-00436120⟩

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