Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging

Type de document :
Communication dans un congrès
Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference, France. Procedia Chemistry, Vol. 1, Issue 1, pp.782-785, 2009
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Contributeur : Martine Peridier <>
Soumis le : jeudi 26 novembre 2009 - 10:39:50
Dernière modification le : jeudi 5 juillet 2018 - 23:12:35

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00436120, version 1

Citation

Elie Lefeuvre, Emile Martincic, Edmond Woytasik, Xavier Leroux, S. Edmond, et al.. Silicon on Insulator Temperature and Pressure Sensor for MEMS Smart Packaging. Proceedings of the Eurosensors XXIII Conference, France. Procedia Chemistry, Vol. 1, Issue 1, pp.782-785, 2009. 〈lirmm-00436120〉

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