Exact wafer matching process wafer to wafer inegration - LIRMM - Laboratoire d’Informatique, de Robotique et de Microélectronique de Montpellier Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2012

Exact wafer matching process wafer to wafer inegration

Domaines

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Rodolphe Giroudeau  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00805059

Soumis le : mardi 26 mars 2013-21:51:48

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:56

Fichier non déposé

Dates et versions

lirmm-00805059 , version 1 (26-03-2013)

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00805059 , version 1

Citer

Rodolphe Giroudeau, Giorgio Di Natale, Marie-Lise Flottes, Florent Hernandez. Exact wafer matching process wafer to wafer inegration. 3D Integration Applications, 2012, Grenoble, France. Workshop on 3D Integration Applications, Technology, Architecture, Design, Automation, and Test, 2012. ⟨lirmm-00805059⟩

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