Exact wafer matching process wafer to wafer inegration

Rodolphe Giroudeau 1 Giorgio Di Natale 2 Marie-Lise Flottes 2 Florent Hernandez 1
1 MAORE - Méthodes Algorithmes pour l'Ordonnancement et les Réseaux
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Poster
Whorshop 3D integration Applications, France. pp.N/A, 2012
Liste complète des métadonnées

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00805059
Contributeur : Rodolphe Giroudeau <>
Soumis le : mardi 26 mars 2013 - 21:51:48
Dernière modification le : jeudi 11 janvier 2018 - 06:27:19

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00805059, version 1

Collections

Citation

Rodolphe Giroudeau, Giorgio Di Natale, Marie-Lise Flottes, Florent Hernandez. Exact wafer matching process wafer to wafer inegration. Whorshop 3D integration Applications, France. pp.N/A, 2012. 〈lirmm-00805059〉

Partager

Métriques

Consultations de la notice

68