Exact wafer matching process wafer to wafer inegration

Rodolphe Giroudeau 1 Giorgio Di Natale 2 Marie-Lise Flottes 2 Florent Hernandez 1
1 MAORE - Méthodes Algorithmes pour l'Ordonnancement et les Réseaux
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Type de document :
Poster
3D Integration Applications, 2012, Grenoble, France. Workshop on 3D Integration Applications, Technology, Architecture, Design, Automation, and Test, 2012
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https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00805059
Contributeur : Rodolphe Giroudeau <>
Soumis le : mardi 26 mars 2013 - 21:51:48
Dernière modification le : mercredi 14 novembre 2018 - 01:18:03

Identifiants

  • HAL Id : lirmm-00805059, version 1

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Citation

Rodolphe Giroudeau, Giorgio Di Natale, Marie-Lise Flottes, Florent Hernandez. Exact wafer matching process wafer to wafer inegration. 3D Integration Applications, 2012, Grenoble, France. Workshop on 3D Integration Applications, Technology, Architecture, Design, Automation, and Test, 2012. 〈lirmm-00805059〉

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