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Poster communications

Exact wafer matching process wafer to wafer inegration

Rodolphe Giroudeau 1 Giorgio Di Natale 2 Marie-Lise Flottes 2 Florent Hernandez 1
1 MAORE - Méthodes Algorithmes pour l'Ordonnancement et les Réseaux
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
2 SysMIC - Conception et Test de Systèmes MICroélectroniques
LIRMM - Laboratoire d'Informatique de Robotique et de Microélectronique de Montpellier
Document type :
Poster communications
Complete list of metadata

https://hal-lirmm.ccsd.cnrs.fr/lirmm-00805059
Contributor : Rodolphe Giroudeau <>
Submitted on : Tuesday, March 26, 2013 - 9:51:48 PM
Last modification on : Tuesday, September 1, 2020 - 11:32:04 AM

Identifiers

  • HAL Id : lirmm-00805059, version 1

Collections

Citation

Rodolphe Giroudeau, Giorgio Di Natale, Marie-Lise Flottes, Florent Hernandez. Exact wafer matching process wafer to wafer inegration. 3D Integration Applications, 2012, Grenoble, France. Workshop on 3D Integration Applications, Technology, Architecture, Design, Automation, and Test, 2012. ⟨lirmm-00805059⟩

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